sigillature metalliche simulate;
portata di flusso: 10 sccm-5 slm;
Precisione: ≤ ± 1% FS;
Pressione massima di aspirazione: 140 psi (981 kPa)
Flussometro di massa Aera FC-7700

Vantaggi:
Alto rapporto qualità-prezzo
Velocità di risposta: meno di 2 secondi
Affidabilità senza pari: impiego per più di un anno, drift zero inferiore allo 0,5% della gamma completa
Facile integrazione: giunti e dimensioni standard
Effetti eccellenti: strati di membrana di alta qualità e proprietà di incisione

Caratteristiche
Sigillature non metalliche
Connessione VCR
Gamma di misurazione da 10SCCM a 150SLM
Valvole elettromagnetiche chiuse o aperte
Flusso massimo di pulizia consentito: fino a 100 volte il valore massimo di taratura
Permissione 1×10-6 atm-cc/sec (elio)

Informazioni dettagliate sul flussimetro di massa del gas FC-7700:
La serie Aera FC-7700 di Adcanced Energy è un prodotto standard provato per diverse applicazioni, con tenute non metalliche che garantiscono un controllo del flusso preciso ed economico. Progettato per ingegneri di processi e attrezzature che operano nei mercati dei semiconduttori, dei display a schermo piatto, dell'archiviazione dei dati, del vuoto industriale e dei rivestimenti industriali, la gamma dimostra una buona affidabilità e prestazioni eccellenti in applicazioni di gas corrosivi come CVD, PVD, incisione, iniezione ionica, sputtering, ossidazione termica, rivestimenti ottici di vetro, fibre ottiche, trattamenti superficiali e altri processi di rivestimento.
Rapporto qualità-prezzo:
La serie FC-7700 è progettata per applicazioni che richiedono prestazioni eccellenti, ma non richiedono resistenza alla corrosione o esigenze di perdite ultraelevate, non solo per un rapporto qualità-prezzo, ma anche per una precisione di controllo estremamente elevata.
Velocità di risposta:
La serie FC-7700 è progettata con le più recenti tecnologie e offre prestazioni molto superiori rispetto ai controllori di flusso di massa MFC della sua categoria. Inoltre, rispetto a prodotti simili che utilizzano valvole termiche a bassa velocità, la serie FC-7700 utilizza valvole elettromagnetiche aperte o chiuse con velocità di risposta più veloci. Una maggiore velocità di risposta consente di evitare un impatto eccessivo e di raggiungere il punto di impostazione in meno di 2 secondi, il più veloce di tutti i prodotti di regolatore di flusso di massa con valvole elettromagnetiche standard.
Affidabilità senza pari:
Costruito da componenti elettronici di alta qualità e da un concetto di progettazione che utilizza componenti minimi e durevoli, questo consente di resistere alle interferenze di un campo di radiofrequenza intenso, soddisfare altri requisiti operativi e avere la migliore stabilità di deriva a zero del suo genere - per più di un anno, con una deriva a zero inferiore allo 0,5% della gamma completa. Di oltre 25.000 prodotti messi in servizio, meno dello 0,5% viene riparato entro un anno di spedizione.
Facile da integrare:
La sostituzione di altre marche consente di ottenere facilmente i vantaggi in termini di prestazioni e affidabilità dei controllori di flusso di massa Area senza problemi di installazione. Alcuni modelli di prodotti sono dotati di connettori elettrici standard e dimensioni critiche che consentono di installare facilmente i sistemi esistenti.
Effetti eccezionali:
I controllori di flusso di massa della serie FC-7700 offrono non solo la coerenza dei processi di film sottili e di incisione, ma anche un elevato grado di ripetibilità.
Parametri del modello:

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Specifications

* N/O: Normally Open Valve Model, ** N/C: Normally Closed Valve Model

※1: Less than ±1% for Full Scale Flow greater than 30SLM

※2: 5～100% for Full Scale Flow greater than 150SLM

※3: 28～43 psiD for Full Scale Flow greater than 150SLM

Dimensions